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超純水設備推動半導體行業向著高效與環保道路發展

時間:2025-01-03

  隨著半導體工業的迅猛發展,對超純水的要求和標準也在不斷提升。特別是在制造集成電路時,即使是幾個金屬離子或灰塵顆粒也足以導致整個電路報廢。因此,作為半導體工業中重要的電子化學試劑之一,超純水的生產制備越來越受到重視。

  目前,在市場上常見的超純水工藝中,傳統的離子交換工藝逐漸被反滲透工藝所取代。這是因為反滲透工藝無需樹脂再生,能夠實現24小時連續產水,并且在制水過程中不會產生廢酸、廢堿等有害排放物。萊特萊德公司推出的超純水設備采用了先進的Ryperm技術反滲透裝置,提升系統的出水水質。

  萊特萊德致力于為用戶提供高品質的超純水解決方案,有效解決了傳統超純水生產過程中能耗大、步驟繁瑣、成本高、產品純度低以及質量不穩定等問題。通過采用簡潔高效的生產工藝流程,實現了連續大規模生產,同時保證了處理效率高、配置合理有效,并具備顯著的經濟性和環保優勢。

超純水設備

  工藝流程:

  利用超濾膜去除水中的懸浮物及部分有機物,反滲透系統去除大部分溶解性固體,提高水質純凈度; TOC裝置用于去除水中殘留的有機碳化合物;EDI系統深度脫鹽并去除微量離子;氮封系統通過充入氮氣防止空氣中的污染物進入系統;脫氣系統排除水中可能存在的氣體雜質;靶向離子交換可以針對難以去除的特定離子如硼進行定向吸附;終端過濾確保出水無任何微粒污染。

  其中,萊特萊德特別設計了獨特的靶向離子交換系統,專門針對超純水中難以處理的硼離子等進行高效去除,保證出水中的硼離子濃度穩定低于5ppt。整套系統集成度非常高,配備了雙操作系統以增強穩定性。這使得即使是在長時間運行條件下也能保持高純度超純水的持續穩定產出,而無需因樹脂再生等原因停機維護。此外,超純水設備日常保養簡便易行,具有較長的使用壽命。

  總之,萊特萊德憑借其創新的技術方案和卓越的產品性能,在推動半導體及相關領域向著更加高效、綠色的方向發展方面發揮著重要作用。

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  編輯:虞美人   技術:加菲

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